2024年9月6日，零部件原土化新质坐蓐力考虑会暨协同改换政策合作签约庆典在上海浦东收效举办。万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司(以下简称凯世通)联袂国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物资科学连络院等离子体物理连络所，元禾璞华投资经管有限公司，以及稠密国内集成电路零部件企业共同参与了这次嘉会。通过坚强政策合作条约，各方将补救推动时代改换和产学研合作，促进上游零部件企业一体化发展，进而匡助下流用户惩办原土芯片制造的聚首性挑战。

芯片制造国产化，装备先行；装备国产化，零部件是基础。集成电路产业看成国度详细实力的关键标记之一是新质坐蓐力，荆棘游协同改换是半导体产业链全体冲破的必由之路。离子注入机是集成电路前谈开导中系统复杂度最高的中枢开导之一，包含斗量车载的零部件。凯世通在这一畛域积极透露“链主”功能，与上游稠密零部件供应商建筑了政策合作相干，而况补救驻游左右企业开展新时代和新产物研发，从而打造了一个具有韧性、多元化特征的供应链体系。

万业企业总裁兼旗下凯世通董事长李勇军博士示意，凯世通提早布局，现在已基本竣事国产离子注入机供应链自主可控。这次政策合作的签约面目，包括微波等离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器东谈主、超高能射频加速器、射频电源、高精度气体流量计等多款关键零部件，起劲于填补国内空缺，为客户提供性能更优、老本更低、自主可控的产物与奇迹惩办决议。

在荆棘游产业链的素雅配合下，凯世通多个关键零部件面目已着花效果。其中，微波等离子体喷枪主要用于离子注入静电中庸，相干于传统的灯丝型等离子体喷枪，可有用裁减金属稠浊，从而擢升芯片制造的良品率。这一零部件是得志AI、HBM、传感器为代表的新质坐蓐力芯片严苛制造条款的关键。流程系列科技攻关与研发改换，凯世通已竣事关键时代冲破，产物测试性能发扬优异，珍惜老本低，并已委用给客户进行产线考证。

凯世通副总司理、首席时代官夏世伟先容，离子注入机零部件种类粘稠、时代条款极高。凯世通塌实鼓吹离子注入机国产化使命，透露链主作用，积极拓宽零部件原土化旅途。基于正向筹算与协同改换的理念，凯世通补救驻游左右单元与上游零部件厂商素雅合作，共同开发关键零部件，有序鼓吹国产零部件的考证使命，从而逐渐擢升对离子注入机零部件中枢时代的掌控性、改换性、逾越性。

   同期，元禾璞华董事总司理陈瑜示意，凯世通以链主为桥梁将稠密关键部件企业团聚在所有这个词，不仅有助于提高开导国产化率，还不错加速半导体产业改换、增强产业安全性、增厚半导体新质坐蓐力，为半导体产业协同升级、自主可控提供了一个新的范式。

面向往时，凯世通将接续坚捏改换冲破，连接撑捏集成电路制造产业链隆重运营，为新质坐蓐力发展提供按捺“芯”能源，连接带动更多国产零部件产业链，推动中国制造迈向高端。